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简单介绍
洁净压缩空气管道系统中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU)，为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。
压缩气体系统工程 的详细介绍
洁净压缩空气管道系统的材质则依使用的需求进行选择，316L BA管常使用于和芯片接触但不参与过程反应的气体。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。
洁净压缩空气管道系统在不锈钢熔炼制材过程中，每吨可吸收大约200g的气体。不锈钢材加工完毕，不仅其表面粘有各种污染物，而且在其金属晶格内也吸留有一定量的气体。当管路中有气流通过时，金属所吸留的这部分气体会重新进入气流中，污染纯净气体。当管内气流为不连续流动时。
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